昌平区地下空间超市餐饮备案审批的流程相对规范，具体如下：

准备材料：包括但不限于地下空间使用证明、经营者身份证明、食品安全承诺书等。

填写申请表格：填写地下空间超市餐饮备案申请表格，包括经营者信息、食品安全管理制度、场所平面布局图等内容。

递交申请：将填好的申请表格和相关资料递交到昌平区相关部门或代办机构。

现场核查：相关部门会对申请资料进行现场核查，确保申请人的经营场所符合食品安全标准和卫生要求。

审核与审批：相关部门会对申请资料进行审核，审核通过后，申请人会收到审批结果通知。

领取许可证：申请人可以凭通知到昌平区相关部门领取地下空间超市餐饮备案许可证。

需要注意的是，昌平区地下空间超市餐饮备案审批的流程虽然相对规范，但具体要求和时间可能会因具体情况而有所不同。因此，为了确保顺利通过审批，建议在申请过程中密切配合相关部门的要求，及时补充和调整相关的资料。同时，也可以咨询相关部门或代办机构以获取更准确的信息和指导。